Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Für Handhabungsgewichte von bis zu 1 KG möglich.
Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 1 kg möglich.
Merkmale
wafer-Handling bis zu 200 mm
ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision
höchste Ausfallsicherheit
optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
kundenspezifische Anpassungen möglich
inkrementelle Encoder
einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
inklusive Standard Controller & Software
ISO 1-reinraumkompatibel
MTBF: >70.000 Betriebsstunden
made in Germany
Gewicht: ca. 19 kg
Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm
Nutzlast: bis zu 1 kg
Max. Geschwindigkeit: T: 360°/s R: 1.000 mm/s Z: 450 mm/s
Netzanschluss: 110 / 230 V AC
Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]
Für Lasten von bis zu 5 KG - auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großen Z-Hub bis 21"
Wafer-Handler der Serie 3 mit Single Arm werden d...
Durch die beiden unabhängigen Arme, können die Wafer sehr schnell ausgetauscht und neu bestückt werden.
Somit werden Leerfahrten vermieden.
Wafer-Ha...
Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten.
Waferhandler der Serie 1 | Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm | Waferhan...
mit 2 Präzisions-StahlwellenØ 12 h6, Material Cf53, Härte 60 ± 2 HRC
Standard- und max. bestellbare Längen sowie Steigungen s. Details
Ideal für den...
Für Handhabungen von Wafern bis zu 450 mm
Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauli...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 6 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise und bieten Raum für Ihre individuelle strukturelle Gestaltu...
Komplett geschlossene Antriebseinheit inklusive innenliegende Rollenführung mit Lebensdauerschmierung. Ideal für diverse Positionier- und Verstellaufg...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 5 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise, haben 2 Spuren, sind 225 mm breit und besitzen einen integ...
Zwei Antriebe – eine Achse!
Die Lineareinheit iLE 20/20 bietet die Möglichkeit durch den Einbau von zwei Kugelgewindespindeln, zwei unabhängige Linea...
Ein entscheidender Vorteil gegenüber den wesentlich teureren optischen Systemen ist die Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzungen durch Flüssigkeite...
Für Lasten von bis zu 5 KG - auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großen Z-Hub bis 21"
Wafer-Handler der Serie 3 mit Single Arm werden d...
Durch die beiden unabhängigen Arme, können die Wafer sehr schnell ausgetauscht und neu bestückt werden.
Somit werden Leerfahrten vermieden.
Wafer-Ha...
Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten.
Waferhandler der Serie 1 | Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm | Waferhan...
mit 2 Präzisions-StahlwellenØ 12 h6, Material Cf53, Härte 60 ± 2 HRC
Standard- und max. bestellbare Längen sowie Steigungen s. Details
Ideal für den...
Für Handhabungen von Wafern bis zu 450 mm
Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauli...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 6 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise und bieten Raum für Ihre individuelle strukturelle Gestaltu...
Komplett geschlossene Antriebseinheit inklusive innenliegende Rollenführung mit Lebensdauerschmierung. Ideal für diverse Positionier- und Verstellaufg...
Lineareinheiten mit Spindelantrieb - LES 5 von isel, arbeiten kraftvoll, sind hoch präzise, haben 2 Spuren, sind 225 mm breit und besitzen einen integ...
Zwei Antriebe – eine Achse!
Die Lineareinheit iLE 20/20 bietet die Möglichkeit durch den Einbau von zwei Kugelgewindespindeln, zwei unabhängige Linea...
Ein entscheidender Vorteil gegenüber den wesentlich teureren optischen Systemen ist die Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzungen durch Flüssigkeite...